La plaque d'onde d'ordre zéro du photorésist est composée de deux morceaux de photorésist au quartz avec des axes optiques orthogonaux. La différence d'épaisseur de deux morceaux de quartz peut produire un retard de phase d'ordre zéro. Les lames d'onde d'ordre zéro sont insensibles à la température et à la longueur d'onde.